鉛フリー 小型実装 BGA・CSP ウェーハ 液 晶 インライン用前後装置 オプション詳細

LCDガラス基板対応乾燥炉

   
   
ARY−101V10LCD 10ゾーンモデル




LCDガラス基板対応
          乾燥装置



ホットプレート方式の為
炉内のクリーン度に優れます!!
LCDガラス基板の洗浄乾燥、
配向膜の焼成、
レジストベークに最適!!
ARY−101V10LCD

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主な特長

● ウォーキングビーム搬送
搬送は、2本のウォーキングビームによるタクト送りの為、ホットプレート上での摩擦がありません。ビームは基板サイズに合わせて4本まで設置できます。
● センタリング機構
入口、出口のコンベアには、基板のズレを修正するセンタリング機構を設置。
● ワーク吸着
弊社独自のワーク吸着機構により、ホットプレート表面とワークのズレを防止。
さらにワーク全面を均一に加熱します。
● 強制排気
燃焼発生ガスを強制排気し、炉内のクリーン度を保ちます。
● コーティング処理
ホットプレート表面をコーティング処理。傷がつきにくく、清掃も簡単。
● 上部補助加熱
ホットプレートと上部パネルヒーターによる上下加熱、上部パネルヒーターが加熱時の基板の反りをなくします。
● N2パージ
高温加熱時には、窒素ガスを封入可。基板の酸化を防ぎます。
● 多段冷却
空冷及び水冷のクーリングプレートにより、基板を直接冷却します。また、ガラスが割れることのない様、2段冷却をしております。

仕様 外観寸法図 標準装備品とオプション




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